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半导体真空泵应用需注意的几个安全事项!
发布时间 :2019-05-29

半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对生产及人员安全造成威胁。下面就跟随小编一起来看看半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项吧!

 

一、有效稀释有害气体的浓度。

半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。因此半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触时,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一 定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

 

二、过滤、定期清洗真空泵及其他附件、管道,避免超压。

半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;如果是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化如果形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压,第 一点中提到的危险性也更大。因此需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。

 

三、避免温度过高。

这点很容易理解,半导体真空泵应用中,有害气体较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就更容易发生危险。

 

四、注意氧气浓度。

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。因此一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;如果是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油品与油滤。

 

以上4个方面就是半导体真空泵应用中zui主要的几个安全事项。总的来说,油封式机械泵需要注意的安全细节比干式真空泵要更多,处置也更为复杂。

 

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